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MEMS technologies

Luque, Antonio; Quero, José M.; Cané, Carles

Tipo: Capítulo
Año de Publicación: 2016
Fuente Nº Citas Fecha Actualización
scopus029-10-2024
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# Autor Afiliación
1Luque, AntonioUniversidad de Sevilla (Spain)
2Quero, José M.Universidad de Sevilla (Spain)
3Cané, CarlesCSIC - Instituto de Microelectronica de Barcelona (IMB-CNM) (Spain)