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Pneumatic free piston fabricated in SU-8 for MEMS applications

Aracil, Carmen; Perdigones, Francisco; Riveros, Jose A.; Bogado, Blas; Quero, Jose M.

Tipo: Ponencia
Año de Publicación: 2011
Número de artículo: 5744239
Fuente Nº Citas Fecha Actualización
scopus213-11-2024
Dimensions
PlumX
Altmetric
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# Autor Afiliación
1Aracil, CarmenUniversidad de Sevilla (Spain)
2Perdigones, FranciscoUniversidad de Sevilla (Spain)
3Riveros, Jose A.Universidad de Sevilla (Spain)
4Bogado, BlasUniversidad de Sevilla (Spain)
5Quero, Jose M.Universidad de Sevilla (Spain)