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Capacitive pressure microsensor fabricated by bulk micromachining and sacrificial layer etching

Luque, A ; Bolea, RG; Fernandez-Bolanos, M; Ionescu, A; Quero, JM

Tipo: Ponencia
Año de Publicación: 2006
Número de artículo: 4153351
Páginas: 2969 - 2974
Fuente Nº Citas Fecha Actualización
scopus418-05-2024
wos018-05-2024
Dimensions
PlumX
Altmetric
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Agencia Código de Proyecto
Spanish Ministerio de Educacion y CienciaTEC2004-02127
Nota: los datos sobre financiación provienen de la WOS
# Autor Afiliación
1Luque, A Universidad de Sevilla (Spain)
2Bolea, RGUniversidad de Sevilla; Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (Switzerland)
3Fernandez-Bolanos, MEcole Polytechnique Fédérale de Lausanne (Switzerland)
4Ionescu, ASin datos ()
5Quero, JMUniversidad de Sevilla (Spain)