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Capacitive pressure microsensor fabricated by bulk micromachining and sacrificial layer etching

Luque, A ; Bolea, RG; Fernandez-Bolanos, M; Ionescu, A; Quero, JM

Tipo: Ponencia
Año de Publicación: 2006
Número de artículo: 4153351
Páginas: 2969 - 2974
Fuente Nº Citas Fecha Actualización
scopus422-06-2024
wos022-06-2024
Dimensions
PlumX
Altmetric

Año:

2023

CiteScore:

1,400

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Electrical and Electronic Engineering591/797Q3T3D8
Control and Systems Engineering245/321Q4T3D8
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Agencia Código de Proyecto
Spanish Ministerio de Educacion y CienciaTEC2004-02127
Nota: los datos sobre financiación provienen de la WOS
# Autor Afiliación
1Luque, A Universidad de Sevilla (Spain)
2Bolea, RGUniversidad de Sevilla; Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (Switzerland)
3Fernandez-Bolanos, MEcole Polytechnique Fédérale de Lausanne (Switzerland)
4Ionescu, ASin datos ()
5Quero, JMUniversidad de Sevilla (Spain)