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Chemical and structural investigations of the incorporation of metal manganese into ruthenium thin films for use as copper diffusion barrier layers

McCoy, AP ; Casey, P; Bogan, J; Lozano, JG; Nellist, PD; Hughes, G

Tipo: Artículo
Año de Publicación: 2012
Volumen: 101
Número: 23
Fuente Nº Citas Fecha Actualización
scopus1029-10-2024
wos929-10-2024
Dimensions
PlumX
Altmetric

Año: 2012

Journal Impact Factor (JIF): 3.7940

CategoríaEdiciónPosiciónCuartilTercilDecil
PHYSICS, APPLIEDSCIE20/128Q1T1D2

Año: 2017

Journal Citation Indicator (JCI): 0,960

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecilPercentil
PHYSICS, APPLIED34/165Q1T1D379,70

Año:

2012

CiteScore:

6,700

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Physics and Astronomy (miscellaneous)5/39Q1T1D2

SJR año:

2012

Factor de Impacto:

2,570

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Physics and Astronomy (miscellaneous)13/256Q1T1D1
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Agencia Código de Proyecto
European Commission under the Marie Curie Programme-
SFI PI program08/IN.1/I2052
Nota: los datos sobre financiación provienen de la WOS
# Autor Afiliación
1McCoy, AP Dublin City University (Ireland)
2Casey, PDublin City University (Ireland)
3Bogan, JDublin City University (Ireland)
4Lozano, JGUniversity of Oxford (United Kingdom)
5Nellist, PDUniversity of Oxford (United Kingdom)
6Hughes, GDublin City University (Ireland)