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Enhanced control of the ionization rate in radio-frequency plasmas with structured electrodes via tailored voltage waveforms

Doyle, SJ ; Lafleur, T; Gibson, AR; Tian, P; Kushner, MJ; Dedrick, J

Tipo: Artículo
Año de Publicación: 2017
Volumen: 26
Número: 12
Número de artículo: 125005
Acceso abierto: Vía verde
Fuente Nº Citas Fecha Actualización
scopus1713-11-2024
wos1729-10-2024
Dimensions
PlumX
Altmetric

Año: 2017

Journal Impact Factor (JIF): 3.9390

CategoríaEdiciónPosiciónCuartilTercilDecil
PHYSICS, FLUIDS & PLASMASSCIE3/31Q1T1D1

Año: 2017

Journal Citation Indicator (JCI): 1,520

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecilPercentil
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS4/36Q1T1D190,28

Año:

2017

CiteScore:

6,300

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Condensed Matter Physics37/395Q1T1D1

SJR año:

2017

Factor de Impacto:

1,015

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Condensed Matter Physics73/418Q1T1D2
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Agencia Código de Proyecto
Engineering and Physical Sciences Research Council (EPSRC)EP/m508196/1
Nota: los datos sobre financiación provienen de la WOS
# Autor
1Doyle, SJ 
2Lafleur, T
3Gibson, AR
4Tian, P
5Kushner, MJ
6Dedrick, J