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A view of the implanted SiC damage by Rutherford backscattering spectroscopy, spectroscopic ellipsometry, and transmission electron microscopy

Battistig, G. ; Khánh, N. Q.; Petrik, P.; Lohner, T.; Dobos, L.; Ṕcz, B.; García López, J.; Morilla, Y.

Tipo: Artículo
Año de Publicación: 2006
Volumen: 100
Número: 9
Páginas: 093507-1 - 093507-5
Acceso abierto: Vía verde
Fuente Nº Citas Fecha Actualización
scopus1030-11-2024
wos1001-12-2024
Dimensions
PlumX
Altmetric

Año: 2006

Journal Impact Factor (JIF): 2.3160

CategoríaEdiciónPosiciónCuartilTercilDecil
PHYSICS, APPLIEDSCIE14/84Q1T1D2

Año: 2017

Journal Citation Indicator (JCI): 0,600

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecilPercentil
PHYSICS, APPLIED65/165Q2T2D460,91

Año:

2011

CiteScore:

3,700

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
General Physics and Astronomy37/190Q1T1D2

SJR año:

2006

Factor de Impacto:

1,944

CategoríaPosiciónCuartilTercilDecil
Physics and Astronomy (miscellaneous)21/192Q1T1D2
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# Autor Afiliación
1Battistig, G. Research Institute for Technical Physics and Materials Science Hungarian Academy of Sciences (Hungary)
2Khánh, N. Q.Research Institute for Technical Physics and Materials Science Hungarian Academy of Sciences (Hungary)
3Petrik, P.Research Institute for Technical Physics and Materials Science Hungarian Academy of Sciences (Hungary)
4Lohner, T.Research Institute for Technical Physics and Materials Science Hungarian Academy of Sciences (Hungary)
5Dobos, L.Research Institute for Technical Physics and Materials Science Hungarian Academy of Sciences (Hungary)
6Ṕcz, B.Research Institute for Technical Physics and Materials Science Hungarian Academy of Sciences (Hungary)
7García López, J.CSIC-JA-USE - Centro Nacional de Aceleradores (CNA) (Spain)
8Morilla, Y.CSIC-JA-USE - Centro Nacional de Aceleradores (CNA) (Spain)