Este sitio web utiliza cookies propias y de terceros para mantener la sesión, ofrecerle una mejor experiencia de usuario y obtener datos estadísticos de navegación de los usuarios. Para más información vea la Política de cookies.
Ver Resultado de Investigación - Prisma - Unidad de Bibliometría
Fuente de evaporación para el transporte de precursores químicos, y método de evaporación para el transporte de los mismos que utiliza dicha fuente
Título alternativo:Evaporation source for transporting chemical precursors, and evaporation method for transporting che
La invención presenta una fuente de evaporación para el transporte de precursores químicos, hasta un sustrato en el cual se realiza la deposición de éstos mediante condensación, formada por un tubo principal (1) que alberga en su parte inferior a los precursores, y que tiene medios de calentamiento (8). En la parte superior del tubo principal (1) se dispone una entrada (5) y una salida (6) para gases portadores, estando situadas en la superficie lateral (7) del tubo principal (1), opuestas la una frente a la otra y alineadas a lo largo de una línea común que atraviesa transversalmente la superficie lateral (7) del tubo principal (1).La invención adicionalmente presenta un método de evaporación para el transporte de precursores químicos, en el que la introducción y extracción de los gases portadores del tubo principal (1) se realizan alineados en dirección transversal a la superficie lateral (7) de éste.
La Universidad de Sevilla, como responsable de los tratamientos de datos personales que en ella se realizan, está comprometida con la protección de los datos personales incluidos en sus distintos tratamientos, como manifestación de la protección del derecho fundamental a la autodeterminación informativa de los interesados.
En aplicación del principio de transparencia y lealtad regulado en el Reglamento General de Protección de datos (RGPD UE 2016/679) se le informa que la Universidad de Sevilla es responsable del presente tratamiento denominado Gestión de la Investigación que tiene como finalidad la gestión económica, administrativa, técnica y académica de la investigación en la Universidad de Sevilla.
El tratamiento es necesario para la ejecución de un contrato en el que el interesado es parte, para el cumplimiento de una obligación legal, el cumplimiento de una misión de interés público o en el ejercicio de poderes públicos conferidos a la Universidad de Sevilla. Asimismo, y en su caso, se legitima con el consentimiento del interesado.
De acuerdo con las citadas normas, tiene derecho a acceder, rectificar y suprimir sus datos personales, así como a otros derechos que puede consultar, junto a una información adicional más detallada, en el siguiente enlace que amplía la información sobre protección de datos.
Sugerencia de Cambio
Debe registrarse con su UVUS para poder solicitar un cambio en el resultado de la investigación.
