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Ver Resultado de Investigación - Prisma - Unidad de Bibliometría
Detector para medir la energía de electrones en microscopios electrónicos de barrido
Tipo:Patente
Titulares:
Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC) (22,5%)
La invención describe un detector para medir la energía de un haz de electrones (12) generados en un microscopio electrónicos de barrido, denominados SEM (1). El detector (29) es de estado sólido fabricado con dos o tres difusiones (10, 19, 20) apiladas verticalmente, formando un sensor con fotodiodos apilados verticalmente (17, 18). Cuando los electrones (12) impactan en el sensor con fotodiodos apilados verticalmente (17, 18) generan unas fotocorrientes que permiten medir de manera independiente la energía y la intensidad del haz de los electrones (12).
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