Este sitio web utiliza cookies propias y de terceros para mantener la sesión, ofrecerle una mejor experiencia de usuario y obtener datos estadísticos de navegación de los usuarios. Para más información vea la Política de cookies.
Ver Resultado de Investigación - Prisma - Unidad de Bibliometría
Procedimiento para la preparación de una capa barrera dieléctrica de óxido de silicio (SiOx) y capa así preparada
Título alternativo:Method for preparing a dielectric barrier layer of silicon oxide (SiOx) and a layer prepared in this
Procedimiento para la preparación de una capa barrera dieléctrica de óxido de silicio (SiOx) sobre un sustrato, para lo cual se realiza, una vez limpiado el sustrato, una deposición de una capa de SiOx por la técnica de PECVD y otra deposición de SiOx por el método sol-gel. La composición de recubrimiento (sol) utilizada en la etapa sol-gel es preparada a partir de los siguientes componentes: MTES, entre 30 y 50% en peso; TEOS, entre 7% y 12% en peso; N, N' -DMS, entre 11 y 19% en peso; PEG, entre 19 y 31% en peso; agua destilada, entre 7 y 12% en peso y acido ortofosfórico, entre 0,6% y 0,9% en peso. Una vez preparada la composición de recubrimiento, se deposita y se densifica para formar la capa de óxido correspondiente.
La Universidad de Sevilla, como responsable de los tratamientos de datos personales que en ella se realizan, está comprometida con la protección de los datos personales incluidos en sus distintos tratamientos, como manifestación de la protección del derecho fundamental a la autodeterminación informativa de los interesados.
En aplicación del principio de transparencia y lealtad regulado en el Reglamento General de Protección de datos (RGPD UE 2016/679) se le informa que la Universidad de Sevilla es responsable del presente tratamiento denominado Gestión de la Investigación que tiene como finalidad la gestión económica, administrativa, técnica y académica de la investigación en la Universidad de Sevilla.
El tratamiento es necesario para la ejecución de un contrato en el que el interesado es parte, para el cumplimiento de una obligación legal, el cumplimiento de una misión de interés público o en el ejercicio de poderes públicos conferidos a la Universidad de Sevilla. Asimismo, y en su caso, se legitima con el consentimiento del interesado.
De acuerdo con las citadas normas, tiene derecho a acceder, rectificar y suprimir sus datos personales, así como a otros derechos que puede consultar, junto a una información adicional más detallada, en el siguiente enlace que amplía la información sobre protección de datos.
Sugerencia de Cambio
Debe registrarse con su UVUS para poder solicitar un cambio en el resultado de la investigación.
